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Q. photo 공정 시 PR resiude문제
안녕하세요 photo-descum-E beam-lift off 순서로 공정을 진행했습니다. 이전에는 그러지 않았는데 더 두꺼운 점도높은 PR을 사용해서 그런지 lift off후 PR residue가 심하게 남았습니다. 그리고 descum 공정이 신규로 추가된 공정과정인데 이 과정에서 고온에서 플라즈마로 진행되다보니 안그래도 두꺼운 PR인데 고온공정까지 영향을 줘서residue가 생긴것이라고 판단할 수 있을까요 ?
2024.11.03
답변 1
- 니니꿈은뭐니삼성전기코사장 ∙ 채택률 86%
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